干式螺杆泵内装有一对平行的螺旋状的转子，其中一件转子的旋转方向为右旋，另一件为左旋。两个转子在泵体内通过一对齿轮保持同步反向旋转。
干式螺杆泵性能特点：
1：抗腐蚀性设计在同气体相接触的部件表面均采用了镀镍/特氟龙（teflon）涂层，避免气体对压缩腔体部件的腐蚀。
2：无油无水的纯净系统运行无油无水的纯净的工作过程，极易化工气体介质的回收。
3：低噪音系统的机械设计运行中，无金属及部件介面的接触，确保系统长寿命、低振动、低噪音以及低磨损耗。
4:低排气温度-转子用水套冷却系统，在压缩区从内部强化冷却，用这种方法，气体温度可以达到低于150℃。
5:短气路-避免气体冷凝和结露锈蚀机腔。
6:紧凑式一体机组，占地空间小。
7:低真空和高流量干式螺杆真空泵可确保真空极限压力达到0.01torr, 任何压力下，均可连续运行，螺杆转子具有极高的工作效率。
